“用是够用，但若是当做研发对象，那就不够看了。”说到这里，老爷子诡异一笑，说道：“我知道你烦我。其实我知道，很多人都烦我，但就算你们都烦我，我也要一心搞科研，为了我们的国家！最后告诉你个好消息。200纳米级的一代光刻机，老夫我已经拿下。只要配件齐全，我能马上给你造出来一台！”

“倪老……什么，您老再说一遍？！”乔扬刚想劝解，突然醒过味儿来，不由的惊问道。

倪光难一脸得意的笑道：“我就喜欢看你这种表情。是的，你没听错，第一代光刻机的制程技术，我们已经完全掌握。来，这是技术报告，你看一看。”

说着话，倪光难转身欲拿那有着两块砖头厚的材料。

乔扬忙拦住，说道：“您老就别羞辱我了，我可得能看得懂啊。”

随后乔扬正色问道：“哪怕您老再生气，我也得再问您一遍，因为这可不是小事情。您真的能生产出一代光刻机啦？”

倪光难是很是自信的说道：“你放心，老夫知道光刻机可不是儿戏，一个小小的偏差，可能上亿美元就毁了，所以我可以用生命向你保证，95年之前，只要配件齐全，我肯定能让你看到一代光刻机！”

未等乔扬说话，倪光难又抢话说道：“从经济效益方面来说，200纳米光刻机还是很有市场的，但若是从技术领先来说，眼下ASML的193无疑是……”

后面倪光难说的什么，乔扬根本没听，此时的他开始搜寻记忆中的亮点。

其实进入九十年代之后，光刻机的光源就已经被卡在193纳米，整整二十年！

直到林本坚的出现，才让光刻机的技术突飞猛进。

先说光刻机，

再说林本坚。

在林本坚出现之前，当时无论是尼康、佳能还是阿斯麦尔（ASML），都是用空气来当作光媒介。

但当光源的波长达到193纳米，就再也降不下去了。

此时光刻机的技术数据就定格在了波长193纳米，光刻辨别率70纳米。

这就是现在让倪光难激动万分的数据。

而倪光难不知道的是，就是这个数据，一直卡了光刻机发展20年！

在此其间，各路科学家想了无法的办法，就是突破不了这个数据，想让光刻辨别率再降1纳米，都是极大的奢望。

几年之后，当时间来到千禧年前后，绝大多数科学家都认为依靠193纳米波长，想要把光刻辨别率降到65纳米，那是根本不可能的。

这时很多科学家和企业，把眼光瞄向了157纳米波长的光刻技术。

但157纳米光波，有很大的局限性，否则它早就取代193纳米波，成为光刻机的主流。

原因是157纳米的光波太弱，绝大多数材质的光刻机透镜，都会强烈吸收157纳米的光波。

只有二氟化钙材质的透镜勉强可以使用。

但因为二氟化钙的材质有着诸多缺陷性，所以想要把二氟化钙研磨成光刻机透镜，难度不是一般的高。

不仅如此，二氟化钙的透镜不仅难以研磨成功，而且价格太高，并且使用寿命也很短。

总是要斥巨资去购买二氟化钙的透镜，但用不了多长时间就得换，这也令各大芯片厂商吐槽不已。

其实在林本坚横空出世之前，不是没有人提出过浸入式光刻原理。

1999年，就有专家利用环辛烷浸入液做过试验。

但因为对于环辛烷浸入液的填充，以及对于镜头的污染

、光刻胶的稳定性等诸多问题无法解决，让专家们很快就放弃了浸入法的选择。

就在这一年，在天劫功成名就的林本坚，回到了家乡海岛，加盟了著名的台积电。

因为当时的台积电是阿斯麦尔的股东之一，所以经常会去参加阿斯麦尔的会议。

在2002年的一场研讨会上，林本坚提出：“我们是否可以尝试一下浸入式方案呢？在我看来，在157纳米波长下，水是不透明的液体，但是如果波长换成193纳米的波长时，水在193纳米的光波下，折射率高达1.44，可见光就可以达到指数132纳米！”

“如果把水换成一种比较有可操作性的浸入液，重点解决掉浸入液的问题，那在现在十分成熟的193纳米光刻设备基础上，这种课题我觉得应该不是难题。然后我们还可以把157纳米的……”

当林本坚说完之后，阿斯麦尔的众大佬，立刻惊为天人。

他们不敢保证这个做法肯定可以，但确实是有很大的可操作性。

其实这不是林本坚第一次提出他的构想。

在此之前，他曾和尼康的提出过自己的疯狂设想。

而那时的尼康高层，已经完全否定了193纳米的可行性，正在努力钻研157纳米的干式光刻机。

在他们看来，芯片制程是需要真空无污染的环境，而水本身就是一种